催化燃燒工藝是采用低溫氧化技術，即在貴金屬催化劑作用下，將有機氣體加熱到分解溫度使氣體淨化。在高濃度低風量廢氣環境下使用效果好。

有機廢氣治理工程主要包括：廢氣收集係統、處理係統，處理工藝流程主要包括五部分：顆粒物去除段、吸附氣體段、加熱催化段、脫附氣體段、控製係統。活性炭吸附處理有機廢氣是利用活性炭微孔能吸收有機性物質的特性，把大風量低濃度有機性性廢氣中的有機溶劑吸附到活性炭中並濃縮，經吸附淨化後的氣體達標直接排空。有機廢氣經鼓風機進入燃燒爐，電加熱升溫至250-300℃左右。在此溫度下，廢氣裏的有機成分在催化劑的作用下被氧化分解為二氧化碳和水，反應後的高溫煙氣進入特殊機構的蓄熱體，絕大部分的熱量被蓄熱體吸收（95%以上），溫度降至接近進口的溫度後經煙筒排放。通常情況下，蓄熱催化燃燒係統由三個蓄熱室構成，廢氣在PLC程序的控製下，循環執行以下的操作流程：進入已蓄熱的蓄熱室，使廢氣得到預熱，然後進入燃燒室，處理的廢氣經蓄熱室放熱後排放，一部分處理後的氣體被引回到第三室，吹掃其中殘留的未處理廢氣。

使用範圍：

處理技術特別適用餘熱回收率需求高，且無其它過程可利用作為熱交換回收程序；適用於同一生產線上，因產品不同，廢氣成分經常發生變化或廢氣濃度波動較大的場合。應用行業包括石油、化工、橡膠、油漆、塗裝、家俱、印製鐵罐、印刷等行業中產生的中高濃度有機廢氣的淨化處理，可處理的有機物質種類包括苯類、酮類、酯類、酚類、醒類、醇類、磁類和烴類等等。此外還適用於汙水處理站的除臭。處理濃度在m3之間的有機廢氣和臭氣。

催化氧化是典型的氣-固相催化反應，其實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化氧化過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰氧化，並氧化分解為CO2和H20，同時放出大量熱能，從而達到去除廢氣中的有害物的方法。其反應過程為：在將廢氣進行化氧化的過程中，廢氣經管道由風機送入熱交換器，將廢氣加熱到催化氧化所需要的起燃溫度，再通過催化劑床層使之氧化，由於催化劑的存在，催化氧化的起燃溫度約為250-300℃，大大低於直接氧化法的氧化溫度650-800℃，因此低能耗遠比直接氧化法為低。